业务范围
主营高精度微纳光刻设备研发与销售，包括MPD双光子三维激光直写系统、FGD公里级光纤光栅加工系统、FSD硬脆体飞秒激光加工系统、AOD紫外无掩膜直写系统、UVD数字投影光刻系统及VOP生物体打印光刻系统；同步提供定制化微纳加工解决方案，覆盖光通信、特种传感、先进封装、量子器件、精准医疗等方向。
核心优势
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全链路自研
覆盖光源、光场、运动、工艺的系统级自主研发能力
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50nm三维精度
基于闭环校准与工艺耦合实现的可交付加工能力
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AOD无掩膜技术
融合声光偏转与紫外光源，支持高速可编程直写
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产学研深融
依托浙江大学技术源头，强化科研成果产业化转化
痛点方案
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进口设备依赖强
提供具备同等性能的国产替代光刻系统
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实验室成果难量产
打通‘样机—装备’转化路径，提升系统稳定性与可复制性
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加工效率与精度难兼顾
通过AOD调控与工艺优化，实现高速+高精度+灰度调制
服务流程
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1
需求对接
技术团队深度沟通应用场景与工艺目标
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2
方案定制
匹配设备选型或联合开发定制化光刻系统
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3
交付部署
含安装调试、操作培训与基础工艺支持
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4
持续协同
开放工艺参数库，支持远程诊断与迭代优化
常见问题
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Q：是否支持定制化开发？
A：支持。可根据光学设计、材料特性、加工指标等需求开展联合开发。
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Q：设备能否用于高校科研？
A：已为清华大学、哈工大等数十所高校提供设备及技术服务。
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Q：是否具备量产适配能力？
A：聚焦工程化落地，已在均匀性、吞吐量、工艺链稳定性方面持续优化。
资质荣誉
国家科技型中小企业、省级科技型中小企业、种子独角兽企业、前沿创新新锐企业；荣获2024年中国光学学会科技创新奖特等奖；承担国家重点研发计划项目；多次获浙江省科学技术奖；核心成果发表于激光微纳加工领域高水平期刊。
服务承诺
坚持原创技术驱动，确保设备核心部件自主可控；提供全流程技术支持与工艺适配服务；响应快速、交付规范；所有产品通过ISO9001、ISO14001、ISO45001三体系认证，保障质量、环境与职业健康安全。